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弊社のSEMI規格に準拠したレチクルポッドとカセットはASML社、Canon社、Nikon社、そしてUltratech社による品質テストを経て承認をうけています。
SEMI規格E111とE112は異なるツールへの互換性を目的として導入され、これまでのSMIF規格に基づくレチクル取扱から業界共通のソリューションへ向けての取り組みに寄与しています。
しかしながら、SMIFはSEMI規格E111とE112が公開される10年以上も前からレチクルの取り扱いにおいて既に使用されてきました。
そこで、SEMI規格に準拠したレチクルポッドは既存の機器すべてに対応することを保証しておらず、また今後購入される機器に対応するとも限りません。
18年以上にわたるSMIFベースレチクル取扱の経験をもとに、Microtome社は起こりうる互換性の問題に熟知しており、そして既にそれらに取り組んできました。
さらに、弊社ではポッドやカセットへの技術的観点からのアプローチをおこなっているため、今後新たな互換性の問題が判明した場合に対処出来ることと考えています。
その場合、弊社のR&R™ サービスをご利用されることにより、既存の製品の改良と修理を行い継続的な満足をご提供できることを確信しております。
どのようなツールセットにも対応できるソリューションをお客様固有にご提供することができます。
Microtome社は互換性を保証します |
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