収納棚の転落。

あるお客様が高さ1.5メートルほどの棚にレチクルを保管していました。その棚をうっかり倒してしまい、そこに載っていた１４個のマルチレチクルポッドが床に落ちてしまいました。いくつかのポッドはひどいダメージを受け、修理のため弊社に戻す必要があるほどでした。しかし中に入っておりましたレチクルの損傷はたいしたことありませんでした。

これに似た報告を他のお客様からも受けております。ひどい損傷にいたらなかったことに対する感謝をいただいております。


年月を経過しても規格内。

新しいストッカーの試運転中に発生したレチクル損傷が弊社製品に起因しているかという調査をお客様より依頼されました。その時使用していた弊社製品は1995年に販売したタイプ67920-00カセットでした。カセットを徹底的に精査したところ、12年近く製造工場において使用されていたにもかかわらず今だに規格内であり、問題がないことが判明しました。そして、調査の結果、損傷はプラスチック製SMIFポッド基盤のねじれによって生じたと可能性が高いことが分かりました。また、このねじれの問題はMicrotome社がSMIFレチクルカセット（タイプ87620-0)を開発する動機の一つとなったものです。


新しいポッド、カセットで仕様の問題を克服 。

先日、Polar Semiconductor社に弊社の最新モデルのポッドとマルチレチクルカセットを評価目的で出荷しました（30日間無償評価プログラムとして出荷）。Polar Semiconductor社の製品マネージャDaniel Bell氏から次のようなコメントを頂戴しました。

「私たちはサンプルを受取り、この製品にとても満足しています。今まで存在していた多くの仕様の問題を解決することができます。」

これは、弊社の商品改善に対する継続的な取組みが実を結んでいることをあらわした一例です。
弊社製品の評価を実施されたい場合は是非お問い合わせください。


ロードポートエリア内の粒子汚染。

大手装置メーカーが他社製SMIF PODを使用して新しい装置を試運転しているときのことです。それまでは粒子はロードポートの小さな範囲で見つかるといわれていました。ある調査期間を経て粒子がSMIF PODに使用されているプラスティックだと確認されました。ロードポートの開け閉めの際の摩擦が粒子を発生させ、中に落としているのだと判明しました。

装置メーカーは弊社のSMIF PODでテストを行い、はるかにキレイな結果が得られたと報告しました。


洗浄がしやすい―公認です。

あるアメリカの大手チップメーカーが我々のSMIFポッドを長年使用していた他社製品と比較しておりました。このお客様はポッドの洗浄を外注に出しており、外注先にマイクロトーム製品に関しての感想を尋ねました。マイクロトーム製品の方がずっと洗浄がしやすいと言う報告に驚き、喜ばれました。