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近年では、最先端のレチクルセットは1億円以上もする高価なものもあり、これらを製造する時間やコストも多大なものとなっています。
リソグラフィー装置には多大なコストをかけているにも関わらず、最も大切で取扱いに注意が必要なレチクルが安価な容器に入れられていることがしばしばあります。
たった一つのレチクルの損傷は、生産低下を引き起こし、レチクルの取り替えまたは修理による膨大なコスト発生につながります。
静電気損傷についての理解は、業界内ではまだ完全に普及しておらず、世界有数の先進的な製造工場でもESD対策のために多額の投資を行っているにも関わらず、レチクルの問題に悩まされ続けています。
(論文はResearchGateからダウンロードすることができます。また、レチクルの静電気保護に関する電子書籍はSPIEからご購入いただけます。)
過去にはたった一つの損傷によって1億円以上の損害が発生した事例もあります。
そのため、弊社では、最良のレチクル保護製品の提供に重点をおき、レチクルの静電気保護のコンサルティングサービスの提供もおこなっております。少しの投資によってリスクを回避し、レチクルの保護に取り組んでみてはいかがでしょうか。
優れたレチクル保護製品に - Microtome社製品の導入をご検討ください 。
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